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高真空度的幾種真空泵機組

2018-09-08 00:56:01?????點擊:249
       獲取高真空度的幾種真空泵機組
    (1)高真空泵機組。由主泵、前級泵、真空閥門、油捕集器、連接管路、復合真空計、機架及輔助設備(電控、液控)組成,用以獲得真空的主要設備,廣泛應用于電子、化學、冶金等工業領域。油擴散泵不能直接用于抽真空,須由機械泵等前一級泵將真空度提高到以后,才能串接油擴散泵,最終達到5/0的極限度。我所電鏡高真空度就是由此類機組組合而成的。其缺點是油易失效和污染。
    (2)快速真空機組。該機組是以羅茨真空泵為主泵,以旋片泵為前級泵并配有電磁閥、管路等的真空獲得設備,有結構緊湊、操作方便、抽氣能力大、抽氣時間短等特點,廣泛應用于真空冶金、真空脫氣、真空鍍膜以及空間模擬、低密度風洞裝置中抽除非腐蝕性氣體。
       與油擴散泵機組相比,其真空度低,但在極短時間就能達到。若將機械泵、羅茨真空泵與油擴散泵進行三級組合,便能大大縮短獲取高真空度的時間分鐘即可達到5/0的真空度。超高真空機組。大于真空度稱之為超高真空度。機組由二級前級泵加上分子泵構成。各級泵匹配的原則主要是從最高一級往前推,根據所需真空度的容積、溫度、抽真空時間來確定分子泵的選型。由其排氣口選定進氣口,再確定前一級泵,以此類推。
       它是目前最先進的真空機組,具有獲取真空度高、速度快等特點,適用于各種氣體,無污染、耐腐蝕,廣泛應用于一些精密儀器中,我所進口儀器等離子質譜分析儀就裝有此真空裝置,是未來高真空獲得的最佳機組。
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