真空泵的發展趨勢
2018-10-22 07:29:38?????點擊：241
真空清潔、無油一直是業界追求的理想環境，而渦旋真空泵是一種新型的無油直排介質的機械泵，它具有動力傳遞簡單、氣體流動損失小、運行平穩、結構緊湊簡單、密封性能好、消耗功率小、振動噪聲低、可靠性高等優點;研究認為真空泵的無油化對獲得清潔、無油真空環境至關重要;介紹了渦旋泵的發展歷程、工作原理、結構類型以及相關廠家產品等并對渦旋真空泵的發展趨勢進行了分析。
隨著渦旋真空泵在半導體行業中應用的不斷擴大，人們開始致力于干式渦旋真空泵的研究。干式渦旋真空泵與油潤滑渦旋真空泵的區別在于泵腔內不含任何的油類和液體。因此解決泵內的密封和冷卻問題，是干式渦旋真空泵研究的關鍵。研究表明了干式渦旋真空泵的可行性，還有效地解決了動靜盤熱力變形造成的相互接觸及離心力造成的動盤振動等問題。
雖然采用水冷方式可以有效地解決干式渦旋真空泵的冷卻問題，但冷卻水回路的設置使其結構更加復雜。采用風冷方式進行冷卻的干式渦旋真空泵，渦盤采用雙側渦圈結構，主軸上裝有兩個冷卻風扇，分別位于兩個靜盤的端部，主軸轉動時帶動風扇一起轉動，達到對渦盤的冷卻效果。同時它采用了半封閉式結構，解決了電動機的冷卻問題。
隨著渦旋真空泵在半導體行業中應用的不斷擴大，人們開始致力于干式渦旋真空泵的研究。干式渦旋真空泵與油潤滑渦旋真空泵的區別在于泵腔內不含任何的油類和液體。因此解決泵內的密封和冷卻問題，是干式渦旋真空泵研究的關鍵。研究表明了干式渦旋真空泵的可行性，還有效地解決了動靜盤熱力變形造成的相互接觸及離心力造成的動盤振動等問題。
雖然采用水冷方式可以有效地解決干式渦旋真空泵的冷卻問題，但冷卻水回路的設置使其結構更加復雜。采用風冷方式進行冷卻的干式渦旋真空泵，渦盤采用雙側渦圈結構，主軸上裝有兩個冷卻風扇，分別位于兩個靜盤的端部，主軸轉動時帶動風扇一起轉動，達到對渦盤的冷卻效果。同時它采用了半封閉式結構，解決了電動機的冷卻問題。
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